酸性清槽剂

性清槽剂

一、产品特性

目前碳酸钠、碳酸钾广泛使用于干膜制程，由于槽液含有大量碳酸根，当其结合水中钙、镁离子，产生固体沉淀，此白色沉淀不仅附着在槽壁，同时亦阻塞管路与喷嘴，容易造成显影不良等后遗症，重者将破坏设备降低设备寿命。

酸性清槽剂为单液型，针对上述制程困扰研发，能有效清除干膜槽沉淀固体，并可溶解干膜槽中的油性物质，定期清槽可有效确保生产质量延长设备寿命。

二、 配槽方法

酸性清槽剂 30%-70%

水         70%-30%

清槽步骤：

1、先排放掉旧显影液，再用清水清洗10分钟。

2、加酸性清槽剂（40%），并以清水加至标准液位。

3、升温至40℃，喷洗1-3小时后排放此液。

4、注入清水喷洗10分钟后排放，再用高压水枪冲洗。

5、注入清水喷洗15分钟后排放，即可完成清槽程序。

三、操作条件

1、温度：30~40℃

2、浓度：40%

3、时间：1-3小时（视沉淀物多少而定）